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大型基板UVLED曝光系統

ALE/2 — UV-LED曝光系統

Product Advantages and Features

  • 內置解決方案可實現最大曝光效率和性能
  • 高達70W的i-line曝光(CWL 365 nm)
  • 高達80W的寬帶曝光(350-450 nm)
  • 閉環控制光輸出
  • LED工藝穩定性和TCO優勢
  • 無需外部冷卻
  • 無汞!節能環保的LED光源

代替超高功率汞燈的LED光源

ALE/2曝光光源提供350-450nm範圍內的窄帶和寬帶紫外輻射輸出。

 

虹科 ALE/2 的窄帶輸出功率高達 70W ,寬帶輸出功率高達 80W ,完全可替代高功率放電汞燈

分布式設計集成

ALE/2 曝光光源遵循分布式設計方法,通常由一個控制子系統 (CSS) 和一個單獨的曝光子系統 (ESS) 組成,ESS可直接接入到曝光系統中。

控制子系統 (CSS)

  • 可用作 4U 19 英寸機架安裝系統
  • 包括電源、冷卻系統和外部接口

曝光子系統(ESS)

  • 創新的光學設計可直接集成到曝光設備中
  • 包括 i、h和 g線發射器,以及 LED 驅動器    

Basic Parameter Information

365 / 405 /436 nm

Radiation [W]

 

ALE2

i-line
CWL 365 nm

Broadband
350 – 450 nm

標準模式

35

80

性能模式

38

90

 

汞弧燈

 

1,000 W

20

40

5,000 W

75

150

4 NUV-LEDs:365 nm

Radiation [W]

 

ALE2

i-line
CWL 365 nm

標準模式

70

性能模式

80

 

汞弧燈

 

1,000 W

20

5,000 W

75

 

中心發射波長: 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm.

輸出功率可能會有±10%誤差.

System Parameters and Specifications

發射波長選擇

4 LEDs with CWL 365 nm, 385 nm, 405 nm, and 436 nm

Numerical Aperture

標準聚光器下:NA 0.3 (2α ~35°)

輸出控制

+ 單一LED電源管理與預設
+ 高解析度強度調整(10-100%)
+ LED上升時間小於1毫秒
+ 連續監控光纖輸出與回饋控制

communication interface

+ 離散PLC介面(TTL)
+ USB(串列)
+ 乙太網路/Modbus(選購)

熱管理

+ 內部散熱器的液體冷卻
+ 選用熱電冷卻器(性能模式運作所需)

Size (WHD)

ESS 21 X 21 X 36 cm (8.3 X 8.3 X 14.2″)
CSS (Rack) 44 X 18 X 37 cm (17.3 X 7.1 X 14.6″)

weights

ESS 4 kg (9 lbs)
CSS (Rack) 10 kg (22 lbs)

電池供應

110 – 240 VAC / 50 – 60 Hz / 1,500 W

 

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