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2025年10月21日
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【虹科方案】台積電為確保光罩運輸品質，選擇 MSR 衝擊振動記錄儀！內含台積電工程師專訪
一、晶圓運輸需要注意什麼？
晶圓（Wafer）運輸是半導體製造流程中極為關鍵且敏感的環節。為確保產品品質與良率，在晶圓運輸過程中必須嚴格控制多項條件，包括靜電防護、真空環境、溫濕度控制、防震保護與運輸追蹤等。以下是五大關鍵注意事項：
【靜電防護（ESD Protection）】
晶圓極易受靜電干擾，因此在運輸過程中需遵守嚴格的靜電防護規範。必須使用抗靜電包裝材料、導電鞋墊與防靜電服裝，並避免產生靜電的行為，以防止晶圓表面受損。
【真空與潔淨環境（Clean & Vacuum Condition）】
為防止灰塵與微粒污染晶圓，運輸需在潔淨與真空條件下進行。應使用密封性良好的運輸容器，同時避免任何碰撞或振動，以確保晶圓品質。
【溫度與濕度控制（Temperature & Humidity Control）】
晶圓對環境變化極為敏感。需使用恆溫恆濕運輸設備，將溫濕度保持在穩定範圍內，防止因熱脹冷縮或水氣造成的微結構損害。
【防震與抗衝擊（Shock & Vibration Protection）】
晶圓屬脆性材料，稍有振動即可能破裂。因此在運輸中必須採用高防震包裝材料與緩衝結構，並避免粗暴搬運，以確保完整性。
【運輸記錄與追蹤（Logistics Tracking & Traceability）】
為確保整個運輸過程可被追蹤與監控，應配置完整的記錄系統，包括溫濕度、位置、振動及時間等資料，以便快速掌握貨品狀態並即時應對異常。
因此，晶圓運輸需要極高規格的控制與保護措施，才能確保晶圓品質與完整性不受損害。
二、MSR175Plus 能做到什麼？
MSR175Plus 衝擊振動記錄儀是虹科為高端製造與精密物流場景設計的監測設備，專門用於監測與記錄運輸過程中的溫度、濕度、壓力、加速度與地理位置等多項關鍵數據。
內建 GPS 定位模組，可準確記錄貨物在運輸途中的即時位置，並透過無線傳輸方式，將數據上傳至電腦或行動裝置，供後續分析與評估。
多場景應用，精準掌握運輸狀態
MSR175Plus 特別適合用於物流、製造與跨國運輸領域，尤其是需要長途運輸或在特殊環境下進行溫濕監控的場景。透過即時監測，可準確追蹤溫濕度變化與振動衝擊情況，確保產品在整個供應鏈中維持最佳狀態。
高精度、高穩定性與長續航
該設備具備極高的測量精度與穩定性，能提供詳細的圖表化數據報告，方便用戶分析與比較。堅固耐用的外殼設計可承受惡劣運輸條件，長效電池壽命可支援長期監測，確保整段運輸過程不間斷。
智能監控，品質保障
使用 MSR175Plus，企業可全程掌控運輸過程中的關鍵參數，有效預防品質風險，確保產品安全。這款設備特別適合需要嚴格監控的行業，如半導體、製藥、生物科技、食品與高端精密製造等。
MSR175Plus 是一款功能強大的 GPS 衝擊振動記錄儀，為運輸監測提供全面解決方案。它可同時監控溫度、濕度、壓力與振動，確保產品於全球運輸過程中維持最佳品質與安全性。
三、台積電工程師專訪
Q1：「MSR175Plus 衝擊運輸數據記錄儀」在台積電主要應用在哪些場域？
（用於哪些產品的運輸？每趟運輸時間與距離為何？）
A1：我們將 MSR175Plus 應用於台灣與美國之間的跨國運輸。由於運輸過程中會出現上下、左右等多方向振動，我們需要精準掌握實際的 g 值並制定最大振動容限。
平均一次來回約需 9 天，總距離約 25,000 公里。
Q2：眾多相關產品之中，台積電為何選擇 MSR175Plus？
（哪些特點吸引採用？與其他品牌相比優勢何在？）
A2：由於需進行長距離測試，MSR175Plus 具備 高容量電池與大記憶體空間，讓長期測量更穩定可靠。部分產品在長時間記錄下可能因容量不足而遺失數據，而 HK-MSR175Plus 能有效避免這一問題。
Q3：在使用 MSR175Plus 的過程中，它對台積電業務產生了哪些幫助？
（對運輸安全或光罩品質有何影響？）
A3：使用 MSR175Plus 後，我們能更清楚掌握振動對光罩的實際影響，並建立量化標準，有助於未來防範潛在風險，大幅提升光罩傳輸成功率與品質穩定性。
Q4：這是否屬於一次性需求？未來國內外廠區是否會複製導入？
A4：未來光罩在台灣與美國之間的往返運輸，都將持續配置 MSR 系列記錄儀，以監測振動情況並持續優化運輸標準。
Q5：最後，作為台積電工程師，您會推薦這項產品嗎？推薦原因與對象？
A5：會，非常推薦！MSR175Plus 對任何需要「量化振動數據」的企業或工程師來說，都是不可或缺的專業監測工具。
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