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高功率大基板曝光光源

高效 | 先進 | 快捷 | 方便 | 一流

高達 30W 紫外輸出

高達 15W 紫外輸出

全功率輸出性能

曝光光源系列產品在單光譜和多光譜配置中提供高功率性能The

 

高功率的紫外輸出能完美替代傳統的、有害的超高功率汞燈,降低使用成本和維修頻率,增加工作吞吐量。

多波段選擇輸出

單波段輸出

多波段輸出

曝光光源系列產品精確地提供最適合您的UV固化應用的光譜成分,提供與汞放電燈相似的光譜輸出,將原有光刻工藝升級到 UVLED 曝光時能夠最大化地減少調整步驟。

可選高性能光學配件

液體光導

提供多種直徑
提供單極/多極光導

均質聚光管

可用於正方形、矩形、六邊形曝光
可增加出光均勻性

大面積聚光元件

附件透鏡系統
為大型設備量身定制

易於設備集成

曝光光源系列產品遵從分布式設計,即光源系統和控制系統相分離,以完美貼合原有的掩膜版設備,可以通過多種方式將原有傳統燈箱結構進行升級,所有解決方案均可定制。

Applications

紫外曝光

紫外固化

高功率UVLED應用

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