高功率大基板曝光光源
高效 | 先進 | 快捷 | 方便 | 一流
全功率輸出性能
曝光光源系列產品在單光譜和多光譜配置中提供高功率性能。
高功率的紫外輸出能完美替代傳統的、有害的超高功率汞燈，降低使用成本和維修頻率，增加工作吞吐量。
多波段選擇輸出
單波段輸出
多波段輸出
曝光光源系列產品精確地提供最適合您的UV固化應用的光譜成分，提供與汞放電燈相似的光譜輸出，將原有光刻工藝升級到 UVLED 曝光時能夠最大化地減少調整步驟。
可選高性能光學配件
液體光導
提供多種直徑
提供單極/多極光導
均質聚光管
可用於正方形、矩形、六邊形曝光
可增加出光均勻性
大面積聚光元件
附件透鏡系統
為大型設備量身定制
易於設備集成
曝光光源系列產品遵從分布式設計，即光源系統和控制系統相分離，以完美貼合原有的掩膜版設備，可以通過多種方式將原有傳統燈箱結構進行升級，所有解決方案均可定制。
應用領域
紫外曝光
紫外固化
