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2026年10月12日
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【虹科案例】台積電選用 MSR 衝擊及振動數據記錄儀
晶圓運輸需要注意甚麼？
晶圓運輸是半導體製造流程中相當重要的一環。由於晶圓及光罩對環境及機械振動較為敏感，運輸期間需要嚴格控制相關條件。
1. 靜電防護
晶圓容易受到靜電影響，因此運輸期間需要採取適當的靜電防護措施。應使用合適的防靜電包裝材料，並避免容易產生靜電的操作。操作人員亦可配合導電鞋墊及防靜電工作服，降低靜電風險。
2. 潔淨及密封環境
晶圓運輸期間需要維持潔淨環境，避免塵埃及污染物接觸晶圓。運輸時應使用密封性能良好的容器，同時減少碰撞及過度振動。
3. 溫度及濕度控制
晶圓對溫度及濕度變化較為敏感。因此，運輸期間需要監測相關環境參數，確保溫濕度維持在合適範圍。這有助降低環境變化對晶圓品質造成的影響。
4. 防震及防撞
晶圓及光罩均屬於較精密的產品，需要避免運輸期間出現碰撞及劇烈振動。因此，應採用合適的防震包裝，並減少搬運過程中的撞擊。
5. 運輸記錄及追蹤
要了解產品在運輸期間的實際狀況，需要建立完整的運輸記錄及追蹤機制。透過記錄產品位置及運輸環境，可以在出現異常時追查相關原因。因此，晶圓及光罩運輸需要從包裝、環境及運輸條件等方面進行監測。透過客觀數據了解運輸過程，有助降低產品受損風險。
虹科 MSR175Plus 可以做到甚麼？
MSR175Plus 是一款多功能運輸數據記錄儀，可記錄運輸期間的溫度、濕度、壓力、位置及振動數據。產品內置 GPS 模組，可以記錄運輸位置。相關數據亦可透過無線方式傳送至電腦或流動裝置，方便進一步分析。MSR175Plus 適合物流及運輸監測用途，尤其適用於長途運輸及對運輸環境有較高要求的產品。用戶可以透過數據記錄，了解運輸期間的溫度、濕度及振動變化。產品具備高精度數據記錄能力，並可產生詳細報告及圖表。這些數據可用於運輸分析、品質管理及後續問題追查。MSR175Plus 同時採用耐用外殼，可應對較複雜的運輸環境。配合長效電池，亦能支援較長時間的運輸監測。對食品、藥品及半導體等對運輸條件較敏感的產品而言，持續記錄運輸數據尤其重要。透過 MSR175Plus，企業可以更清楚掌握貨物在運輸期間的實際狀況。相關數據亦可作為運輸流程改善及風險管理的參考。總括而言，MSR175Plus 可協助用戶記錄運輸期間的溫度、濕度、壓力、位置及振動數據。對需要量化運輸條件的應用而言，數據記錄可以為品質及運輸管理提供更客觀的依據。
常見問題解答 (台積電工程師專訪)
Q1 :「MSR175Plus 衝擊及振動數據記錄儀」在台積電主要應用於哪些運輸場景？每次運輸大約需要多久及經過多遠距離？
A1 : 我們將 MSR175Plus 應用於台灣與美國之間的運輸。由於運輸期間會產生來自上下、左右等不同方向的振動，因此我們需要了解實際的振動 G 值。在取得實際數據後，再進一步訂立可接受的最大振動範圍。平均每次往返運輸約需 9 天，距離約為 25,000 公里。
Q2：在眾多相關產品中，台積電為甚麼選擇 MSR175Plus？哪些產品特點最符合實際需求？
A2：由於我們需要進行長距離運輸測試，因此對電池續航時間及記憶體容量都有一定要求。MSR175Plus 本身具備較長的電池使用時間及較大的記憶體容量，令長時間測量更加方便。有些供應商的產品在長時間記錄後，可能因為累積大量振動數據而出現記憶體不足。這種情況甚至可能導致部分數據遺失。因此，MSR175Plus 的電池及記憶體容量較適合長距離運輸測試
Q3 : 使用 MSR175Plus 後，對台積電的工作及運輸安全帶來甚麼幫助？與之前使用的產品相比，有哪些改善？
A3 : 使用 HK-MSR175Plus 後，可以幫助台積電進一步了解振動對光罩的實際影響。同時，我們可以將運輸期間的振動情況轉化為具體及量化的數據。有了這些數據後，我們可以進一步訂立相關標準。這有助降低未來運輸期間振動對光罩造成的影響，並提高光罩運輸的成功率。
Q4 :這次屬於一次性的需求嗎？未來其他地區的廠房是否也有機會採用相同方案？
A4 : 未來光罩往返台灣與美國期間，會繼續配置 HK-MSR 數據記錄儀。透過記錄運輸期間產生的振動數據，可以持續監測實際運輸條件。相關數據亦可作為後續運輸管理及改善工作的參考。
Q5 : 作為台積電工程師，你會推薦 MSR175Plus 嗎？如果會，主要推薦給哪些用戶？
A5 : 會，非常推薦給需要量化振動數據的企業及工程師使用。
尤其是需要了解運輸振動影響，或者需要建立具體振動標準的企業，這類數據記錄儀會相當有幫助。
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