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【虹科案例】台積電選用 MSR 衝擊及振動數據記錄儀

晶圓運輸需要注意甚麼?

晶圓運輸是半導體製造流程中相當重要的一環。由於晶圓及光罩對環境及機械振動較為敏感,運輸期間需要嚴格控制相關條件。
台積電(TSMC)半導體晶圓廠區大型紅色標誌外觀:展示晶圓廠環境監控與潔淨室技術應用場景,右下角附有「虹科環境監測技術」標籤。

1. 靜電防護

晶圓容易受到靜電影響,因此運輸期間需要採取適當的靜電防護措施。應使用合適的防靜電包裝材料,並避免容易產生靜電的操作。操作人員亦可配合導電鞋墊及防靜電工作服,降低靜電風險。

2. 潔淨及密封環境

晶圓運輸期間需要維持潔淨環境,避免塵埃及污染物接觸晶圓。運輸時應使用密封性能良好的容器,同時減少碰撞及過度振動。

3. 溫度及濕度控制

晶圓對溫度及濕度變化較為敏感。因此,運輸期間需要監測相關環境參數,確保溫濕度維持在合適範圍。這有助降低環境變化對晶圓品質造成的影響。

4. 防震及防撞

晶圓及光罩均屬於較精密的產品,需要避免運輸期間出現碰撞及劇烈振動。因此,應採用合適的防震包裝,並減少搬運過程中的撞擊。

5. 運輸記錄及追蹤

要了解產品在運輸期間的實際狀況,需要建立完整的運輸記錄及追蹤機制。透過記錄產品位置及運輸環境,可以在出現異常時追查相關原因。因此,晶圓及光罩運輸需要從包裝、環境及運輸條件等方面進行監測。透過客觀數據了解運輸過程,有助降低產品受損風險。

虹科 MSR175Plus 可以做到甚麼?

虹科 MSR175plus 衝擊與環境數據記錄器外觀圖:黃色堅固外殼配有 GNSS 定位功能、三軸加速度(X/Y/Z)以及溫度、濕度、氣壓、光照與傾斜感測器圖示,專用於運輸與物流監測。
MSR175Plus 是一款多功能運輸數據記錄儀,可記錄運輸期間的溫度、濕度、壓力、位置及振動數據。產品內置 GPS 模組,可以記錄運輸位置。相關數據亦可透過無線方式傳送至電腦或流動裝置,方便進一步分析。MSR175Plus 適合物流及運輸監測用途,尤其適用於長途運輸及對運輸環境有較高要求的產品。用戶可以透過數據記錄,了解運輸期間的溫度、濕度及振動變化。產品具備高精度數據記錄能力,並可產生詳細報告及圖表。這些數據可用於運輸分析、品質管理及後續問題追查。MSR175Plus 同時採用耐用外殼,可應對較複雜的運輸環境。配合長效電池,亦能支援較長時間的運輸監測。對食品、藥品及半導體等對運輸條件較敏感的產品而言,持續記錄運輸數據尤其重要。透過 MSR175Plus,企業可以更清楚掌握貨物在運輸期間的實際狀況。相關數據亦可作為運輸流程改善及風險管理的參考。總括而言,MSR175Plus 可協助用戶記錄運輸期間的溫度、濕度、壓力、位置及振動數據。對需要量化運輸條件的應用而言,數據記錄可以為品質及運輸管理提供更客觀的依據。

常見問題解答 (台積電工程師專訪)

Q1 :「MSR175Plus 衝擊及振動數據記錄儀」在台積電主要應用於哪些運輸場景?每次運輸大約需要多久及經過多遠距離?
 
A1 : 我們將 MSR175Plus 應用於台灣與美國之間的運輸。由於運輸期間會產生來自上下、左右等不同方向的振動,因此我們需要了解實際的振動 G 值。在取得實際數據後,再進一步訂立可接受的最大振動範圍。平均每次往返運輸約需 9 天,距離約為 25,000 公里。
 
 

Q2:在眾多相關產品中,台積電為甚麼選擇 MSR175Plus?哪些產品特點最符合實際需求?

A2:由於我們需要進行長距離運輸測試,因此對電池續航時間及記憶體容量都有一定要求。MSR175Plus 本身具備較長的電池使用時間及較大的記憶體容量,令長時間測量更加方便。有些供應商的產品在長時間記錄後,可能因為累積大量振動數據而出現記憶體不足。這種情況甚至可能導致部分數據遺失。因此,MSR175Plus 的電池及記憶體容量較適合長距離運輸測試

 

Q3 : 使用 MSR175Plus 後,對台積電的工作及運輸安全帶來甚麼幫助?與之前使用的產品相比,有哪些改善?

A3 : 使用 HK-MSR175Plus 後,可以幫助台積電進一步了解振動對光罩的實際影響。同時,我們可以將運輸期間的振動情況轉化為具體及量化的數據。有了這些數據後,我們可以進一步訂立相關標準。這有助降低未來運輸期間振動對光罩造成的影響,並提高光罩運輸的成功率。
 
 
Q4 :這次屬於一次性的需求嗎?未來其他地區的廠房是否也有機會採用相同方案?
 
A4 : 未來光罩往返台灣與美國期間,會繼續配置 HK-MSR 數據記錄儀。透過記錄運輸期間產生的振動數據,可以持續監測實際運輸條件。相關數據亦可作為後續運輸管理及改善工作的參考。
 
Q5 : 作為台積電工程師,你會推薦 MSR175Plus 嗎?如果會,主要推薦給哪些用戶?
A5 : 會,非常推薦給需要量化振動數據的企業及工程師使用。
尤其是需要了解運輸振動影響,或者需要建立具體振動標準的企業,這類數據記錄儀會相當有幫助。

想了解更多關於如何像台積電一樣,透過虹科 MSR 衝擊及振動數據記錄儀量化跨國運輸風險、建立嚴謹的震動防護標準? 立即前往 MSR多功能微型衝擊振動記錄器總頁面 探索完整解決方案。

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